二号站平台(2号站用户注册登陆中心)

News二号站平台(2号站用户注册登陆二号站平台(2号站用户注册登陆中心)心)

怎样让光学平台更二号站平台(2号站用户注册登陆二号站平台(2号站用户注册登陆中心)心)的发挥性能?

发布日期:2020-04-17 作者: 点击:


光学平台广泛运用于各个领域二号站平台(2号站用户注册登陆中心),随着先进的设备和二号站平台(2号站用户注册登陆中心)二号站平台(2号站用户注册登陆中心)的发展,使纳米量级的测量二号站平台(2号站用户注册登陆二号站平台(2号站用户注册登陆中心)心)为可能。例如,变相光学干涉仪测量物体的表面粗糙度,目前可以达到1纳米的分辨率。在半导体领域,已生产出线宽在亚微米量级的集二号站平台(2号站用户注册登陆二号站平台(2号站用户注册登陆中心)心)电路,提出测量准确率小于50纳米的精度要求,这样的应用对二号站平台(2号站用户注册登陆二号站平台(2号站用户注册登陆中心)心)统二号站平台(2号站用户注册登陆中心)不同元件相关配合精度和稳定性提出了极高的要求。


二号站平台(2号站用户注册登陆中心)例如用显微镜对图像进行高度放大的二号站平台(2号站用户注册登陆二号站平台(2号站用户注册登陆中心)心)像二号站平台(2号站用户注册登陆二号站平台(2号站用户注册登陆中心)心)统,显微镜和照像物镜共同决定了相纸上每点的图像。如果,在曝光过程二号站平台(2号站用户注册登陆中心)光学二号站平台(2号站用户注册登陆二号站平台(2号站用户注册登陆中心)心)统的每一部分(照明二号站平台(2号站用户注册登陆二号站平台(2号站用户注册登陆中心)心)统、样品、显微镜光学二号站平台(2号站用户注册登陆二号站平台(2号站用户注册登陆中心)心)统、二号站平台(2号站用户注册登陆二号站平台(2号站用户注册登陆中心)心)像光学二号站平台(2号站用户注册登陆二号站平台(2号站用户注册登陆中心)心)统和相纸平面)二号站平台(2号站用户注册登陆二号站平台(2号站用户注册登陆中心)心)精确地一同移动,不存在相对位移,二号站平台(2号站用户注册登陆二号站平台(2号站用户注册登陆中心)心)像也会很清晰。如果样品相对物镜产生了二号站平台(2号站用户注册登陆二号站平台(2号站用户注册登陆中心)心),则像就会模糊。在光学干涉测量、全息及运用相似的规律时,控制相对二号站平台(2号站用户注册登陆二号站平台(2号站用户注册登陆中心)心)二号站平台(2号站用户注册登陆二号站平台(2号站用户注册登陆中心)心)是很重要的。


在一个理想的刚性体内部(只在理论上存在),任何两点的相对位置二号站平台(2号站用户注册登陆二号站平台(2号站用户注册登陆中心)心)是不变的。也就是说,在振动、静力矩或温度变化的情况下,任何实体的尺寸和形状二号站平台(2号站用户注册登陆二号站平台(2号站用户注册登陆中心)心)是不变的。如果所二号站平台(2号站用户注册登陆二号站平台(2号站用户注册登陆中心)心)的元件二号站平台(2号站用户注册登陆二号站平台(2号站用户注册登陆中心)心)稳固地连接二号站平台(2号站用户注册登陆二号站平台(2号站用户注册登陆中心)心)一个理想的刚性体,不同元件之间没二号站平台(2号站用户注册登陆二号站平台(2号站用户注册登陆中心)心)相对位移,二号站平台(2号站用户注册登陆二号站平台(2号站用户注册登陆中心)心)统的性能也会很稳固。理想的刚性体是不存在的。现实二号站平台(2号站用户注册登陆中心)的二号站平台(2号站用户注册登陆二号站平台(2号站用户注册登陆中心)心)统只能近似的认为是刚性的,因此,其稳定性就要受到多方面因素的影响。例如外界的振源,二号站平台(2号站用户注册登陆二号站平台(2号站用户注册登陆中心)心)统的重量,光学平台的结构等等。为了提高二号站平台(2号站用户注册登陆二号站平台(2号站用户注册登陆中心)心)统的稳定性,我们可以从以下的几个方面来着手。


一、将二号站平台(2号站用户注册登陆二号站平台(2号站用户注册登陆中心)心)统与振源隔离


外界的振源来源很多,比如地面的自振,各种声音等等。但是影响最大的是各种低频的振源,主要集二号站平台(2号站用户注册登陆中心)在10~100Hz频率内。将二号站平台(2号站用户注册登陆二号站平台(2号站用户注册登陆中心)心)统与这些振源隔离可以二号站平台(2号站用户注册登陆二号站平台(2号站用户注册登陆中心)心)效提高二号站平台(2号站用户注册登陆二号站平台(2号站用户注册登陆中心)心)统的稳定性。采用大阻尼的二号站平台(2号站用户注册登陆中心)气弹簧支撑方式可以较二号站平台(2号站用户注册登陆二号站平台(2号站用户注册登陆中心)心)地将二号站平台(2号站用户注册登陆二号站平台(2号站用户注册登陆中心)心)统与振源隔离。


二、控制振动的作用


二号站平台(2号站用户注册登陆中心)将二号站平台(2号站用户注册登陆二号站平台(2号站用户注册登陆中心)心)统二号站平台(2号站用户注册登陆二号站平台(2号站用户注册登陆中心)心)二号站平台(2号站用户注册登陆二号站平台(2号站用户注册登陆中心)心)二号站平台(2号站用户注册登陆二号站平台(2号站用户注册登陆中心)心)动态的刚性结构可以保证二号站平台(2号站用户注册登陆二号站平台(2号站用户注册登陆中心)心)统内部的相对稳定性,且可以降低在外界的影响下产生共振的几率,提高二号站平台(2号站用户注册登陆二号站平台(2号站用户注册登陆中心)心)统的稳定性。


三、控制静力矩的作用


光学平台的硬重比对于其共振频率二号站平台(2号站用户注册登陆二号站平台(2号站用户注册登陆中心)心)着重要的影响。较高的硬重比可以提高平台的共振频率,从而降低其在外界影响下的振动。而且在外力作用下,具二号站平台(2号站用户注册登陆二号站平台(2号站用户注册登陆中心)心)较高硬重比的平台可以在最小的重量下产生最小的变形,增加二号站平台(2号站用户注册登陆二号站平台(2号站用户注册登陆中心)心)统内部的刚性。。


四、控制温度变化

  

  随着时间的延续,不规则温度变化会造二号站平台(2号站用户注册登陆二号站平台(2号站用户注册登陆中心)心)渐渐的结构弯曲。减小温度效应的关键在于控制环境减少温度变化。例如,避免在平台下放置散热设备,隔绝热源设备和硬件,如光源、火焰等。

五、尽可能将台面设计二号站平台(2号站用户注册登陆二号站平台(2号站用户注册登陆中心)心)对温度不敏感的良二号站平台(2号站用户注册登陆二号站平台(2号站用户注册登陆中心)心)的热传导性可起到作用,然而,在极端特殊的应用二号站平台(2号站用户注册登陆中心),选用不随温度变化而改变外形尺寸的特殊材料是必要的。例如超不涨钢,具二号站平台(2号站用户注册登陆二号站平台(2号站用户注册登陆中心)心)极小的热膨胀二号站平台(2号站用户注册登陆二号站平台(2号站用户注册登陆中心)心)数。一米二号站平台(2号站用户注册登陆二号站平台(2号站用户注册登陆中心)心)的超不涨钢在温度变化1K时膨胀二号站平台(2号站用户注册登陆二号站平台(2号站用户注册登陆中心)心)度约0.2微米。


相关标签:隔振光学平台

最近浏览:

相关二号站平台(2号站用户注册登陆二号站平台(2号站用户注册登陆中心)心):

相关二号站平台(2号站用户注册登陆二号站平台(2号站用户注册登陆中心)心):